Flash Lamp Annealing

Sprache: Englisch

Verlag: Springer International Publishing Aug 2019, 2019

3030232980 / 9783030232986

Serie: Buch 201 von 233 - Springer Series in Materials Science

Anbieter: BuchWeltWeit Ludwig Meier e.K., Bergisch Gladbach, DeutschlandBuchWeltWeit Ludwig Meier e.K.

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This item is printed on demand - it takes 3-4 days longer - Neuware -This book provides a comprehensive survey of the technology of flash lamp annealing (FLA) for thermal processing of semiconductors. It gives a detailed introduction to the FLA technology and its physical background. Advantages, drawbacks and process issues are addressed in detail and allow the reader to properly plan and perform their own thermal processing. Moreover, this books gives a broad overview of the applications of flash lamp annealing, including a comprehensive literature survey. Several case studies of simulated temperature profiles in real material systems give the reader the necessary insight into the underlying physics and simulations. This book is a valuable reference work for both novice and advanced users. 308 pp. Englisch.

Bestandsnummer des Verkäufers 9783030232986

Titel
Flash Lamp Annealing
Autor
Lars Rebohle
Verlag
Springer International Publishing Aug 2019
Erscheinungsjahr
2019
Zustand
Neu
Einband
Buch
Sprache
Englisch
ISBN-10
3030232980
ISBN-13
9783030232986
Artikelgewicht
629 Gramm
Abmessungen
241x160x23 mm
Serie
Buch 201 von 233: Springer Series in Materials Science

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