Fundamental Electron Interactions with Plasma Processing Gases (Physics of Atoms and Molecules)

Sprache: Englisch

Verlag: Springer Science & Business Media, New York, 2004

0306480379 / 9780306480379

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Loucas G. Christophorou and James K. Olthoff examine how low-energy electrons collide with gas molecules used in plasma etching, with particular attention to the semiconductor industry. The six chapters move from general principles to data on individual gases. The first sets out the basic electron-molecule interactions and why they matter to technology. The second defines the cross sections and coefficients used to describe these collisions, in the gas phase, and the third explains how the authors evaluated and assessed the published data. The remaining chapters give recommended or suggested cross sections, together with rate and transport coefficients, for ten gases: CF4, C2F6 and C3F8; then CHF3, CF3I and c-C4F8; and finally Cl2, CCl2F2, BCl3 and SF6. Feel free to ask for photos or more detail.

Titel
Fundamental Electron Interactions with Plasma Processing Gases (Physics of Atoms and Molecules)
Autor
Loucas G. Christophorou and James K. Olthoff
Verlag
Springer Science & Business Media, New York
Erscheinungsjahr
2004
Zustand
New
Einband
Hardback
Sprache
Englisch
ISBN-10
0306480379
ISBN-13
9780306480379
Artikelgewicht
4,7 Pfund
Abmessungen
14.0 x 14.0 x 4.0 inches
Verkäuferkataloge
Science, Science & Mathematics

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