Handbook of Microlithography, Micromachining, and Microfabrication. Volume 1: Microlithography (SPIE Press Monograph Vol. PM39)
Michael J. Rooks,F. Keith Perkins,Martin C. Peckerar,Andrew R. Neureuther,John G. Skinner,Robert D. Allen,Franco Cerrina,Mark A. McCord,Harry J. Levinson
ISBN 10: 0819423785 ISBN 13: 9780819423788
Verlag: Society of Photo-Optical Instrum, 1997
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Hardcover
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HPB-Red, Dallas, TX, USA
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Bibliografische Details
Titel: Handbook of Microlithography, Micromachining...
Verlag: Society of Photo-Optical Instrum
Erscheinungsdatum: 1997
Einband: Hardcover
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