Handbook of Microlithography, Micromachining, and Microfabrication, Volume 2: Micromachining and Microfabrication (Spie Press Monograph, Pm39-Pm40)

Prosenjit Rai-Choudhury

ISBN 10: 0819423793 ISBN 13: 9780819423795
Verlag: SPIE--The International Society for Optical Engineering, 1997
Sprache: Englisch
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