Handbook of Plasma Processing Technology: Fundamental, Etching, Deposition and Surface Interactions (Materials Science and Process Technology)

Rossnagel, Stephen M., Westwood, William D., Cuomo, Jerome J

ISBN 10: 0815512201 ISBN 13: 9780815512202

Verlag: William Andrew, 1991

Sprache: Englisch

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Titel

Handbook of Plasma Processing Technology: Fundamental, Etching, Deposition and Surface Interactions (Materials Science and Process Technology)

Verlag

William Andrew

Erscheinungsjahr

1991

Sprache

Englisch

ISBN-10

0815512201

ISBN-13

9780815512202

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Inhaltsangabe

This is a comprehensive overview of the technology of plasma-based processing, written by an outstanding group of 29 contributors.

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