Handbook of Plasma Processing Technology: Fundamental, Etching, Deposition and Surface Interactions (Materials Science and Process Technology)
Rossnagel, Stephen M.; Westwood, William D.; Cuomo, Jerome J.
ISBN 10: 0815512201 ISBN 13: 9780815512202
Verlag: William Andrew (edition 1), 1991
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Inhaltsangabe:
This is a comprehensive overview of the technology of plasma-based processing, written by an outstanding group of 29 contributors.
Críticas: "The text provides and excellent reference for plasma processing." - SAMPE Journal
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Bibliografische Details
Titel: Handbook of Plasma Processing Technology: ...
Verlag: William Andrew (edition 1)
Erscheinungsdatum: 1991
Einband: Hardcover
Zustand: Very Good
Auflage: 1.
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Handbook of Plasma Processing Technology: Fundamental, Etching, Deposition and Surface Interactions (Materials Science and Process Technology)
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Handbook of Plasma Processing Technology : Fundamental, Etching, Deposition and Surface Interactions
Verlag:
Elsevier Science & Technology Books, 1990
ISBN 10: 0815512201
ISBN 13: 9780815512202
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Handbook of Plasma Processing Technology: Fundamental, Etching, Deposition and Surface Interactions
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Handbook of Plasma Processing Technology: Fundamental, Etching, Deposition and Surface Interactions (Materials Science and Process Technology)
Verlag:
Noyes Publications, USA, 1991
ISBN 10: 0815512201
ISBN 13: 9780815512202
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Handbook of Plasma Processing Technology: Fundamental, Etching, Deposition and Surface Interactions (Materials Science and Process Technology)
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