Handbook of Semiconductor Interconnection Technology

Sprache: Englisch

Verlag: CRC Press Feb 2006, 2006

1574446746 / 9781574446746

Anbieter: AHA-BUCH GmbH, Einbeck, DeutschlandAHA-BUCH GmbH

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Neuware - First introduced about a decade ago, the first edition of the Handbook of Semiconductor Interconnection Technology became widely popular for its thorough, integrated treatment of interconnect technologies and its forward-looking perspective. The field has grown tremendously in the interim and many of the 'likely directions' outlined in the first edition are now standard in modern facilities. Reflecting those advances, this edition delves into the practical aspects of interconnections for manufacturing. It examines the interconnect and fabrication technologies now available, with an examination of future prospects for the field.What's in this Edition:- Detailed discussion of electrochemical equipment for plating copper - Information on tools used for evaporation, chemical vapor deposition, and plasma processes - Emphasis on measurement of mechanical and thermal properties of insulators - Methods for characterizing porous dielectric thin films - Greater focus on integration issues and properties of titanium, cobalt, and nickel silicides - Process schemes based on the increased need for borderless contact gates and source/drain - Expanded discussion on choices for low-dielectric insulators - Concentration on electroplated copper, especially morphology of plated films and their properties - Developments in thin film liners and barriers - Expanded material on copper reliability.…

Bestandsnummer des Verkäufers 9781574446746

Titel
Handbook of Semiconductor Interconnection Technology
Autor
Geraldine Cogin Shwartz
Verlag
CRC Press Feb 2006
Erscheinungsjahr
2006
Zustand
Neu
Einband
Buch
Sprache
Englisch
ISBN-10
1574446746
ISBN-13
9781574446746
Auflage
2. Auflage
Artikelgewicht
1.093 Gramm
Abmessungen
267x187x30 mm

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