High Resolution Focused Ion Beams: FIB and its Applications : The Physics of Liquid Metal Ion Sources and Ion Optics and Their Application to Focused Ion Beam Technology

Sprache: Englisch

Verlag: Springer, 2012

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Druck auf Anfrage Neuware - Printed after ordering - In this book, we have attempted to produce a reference on high resolution focused ion beams (FIBs) that will be useful for both the user and the designer of FIB instrumentation. We have included a mix of theory and applications that seemed most useful to us. The field of FIBs has advanced rapidly since the application of the first field emission ion sources in the early 1970s. The development of the liquid metal ion source (LMIS) in the late 1960s and early 1970s and its application for FIBs in the late 1970s have resulted in a powerful tool for research and for industry. There have been hundreds of papers written on many aspects of LMIS and FIBs, and a useful and informative book on these subjects was published in 1991 by Phil Prewett and Grame Mair. Because there have been so many new applications and uses found for FIBs in the last ten years we felt that it was time for another book on the subject.

Bestandsnummer des Verkäufers 9781461352297

Titel
High Resolution Focused Ion Beams: FIB and its Applications : The Physics of Liquid Metal Ion Sources and Ion Optics and Their Application to Focused Ion Beam Technology
Autor
Lynwood Swanson
Verlag
Springer
Erscheinungsjahr
2012
Zustand
Neu
Einband
Taschenbuch
Sprache
Englisch
ISBN-10
1461352290
ISBN-13
9781461352297
Artikelgewicht
487 Gramm
Abmessungen
235x155x18 mm

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