High Resolution Focused Ion Beams: FIB and its Applications : The Physics of Liquid Metal Ion Sources and Ion Optics and Their Application to Focused Ion Beam Technology

Sprache: Englisch

Verlag: Humana, 2002

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nach der Bestellung gedruckt Neuware - Printed after ordering - In this book, we have attempted to produce a reference on high resolution focused ion beams (FIBs) that will be useful for both the user and the designer of FIB instrumentation. We have included a mix of theory and applications that seemed most useful to us. The field of FIBs has advanced rapidly since the application of the first field emission ion sources in the early 1970s. The development of the liquid metal ion source (LMIS) in the late 1960s and early 1970s and its application for FIBs in the late 1970s have resulted in a powerful tool for research and for industry. There have been hundreds of papers written on many aspects of LMIS and FIBs, and a useful and informative book on these subjects was published in 1991 by Phil Prewett and Grame Mair. Because there have been so many new applications and uses found for FIBs in the last ten years we felt that it was time for another book on the subject.

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Titel
High Resolution Focused Ion Beams: FIB and its Applications : The Physics of Liquid Metal Ion Sources and Ion Optics and Their Application to Focused Ion Beam Technology
Autor
Lynwood Swanson
Verlag
Humana
Erscheinungsjahr
2002
Zustand
Neu
Einband
Buch
Sprache
Englisch
ISBN-10
030647350X
ISBN-13
9780306473500
Artikelgewicht
645 Gramm
Abmessungen
241x160x23 mm

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