LOW ENERGY ION BEAM AND PLASMA MODIFICATION OF MATERIALS
JAMES M. E. HARPER, IBM T J WATSON RESEARCH CENTER, NEW YORKKIYOSHI MIYAKE, HITACHI RESEARCH LABORATORY, HITACHI LTD., IBARAKI, JAPANJOHN R. MCNEIL, UNIVERSITY OF NEW MEXICOSTEVEN M. GORBATKIN, OAK RIDGE NATIONAL LABORATORY, OAK RIDGE, TENNESSEE DIV CLASS="CONTRIBUTORSPEOPLE">DIV CLASS="CONTRIBUTORSPEOPLEHIDDEN">W. Mà LLER, MAKOTO KITABATAKE, J. E. GREENE, M. V. R. MURTY, HARRY A. ATWATER, BERNARD A. PAILTHORPE, PETER KNIGHT, A. M. MAZZONE, J. MURI, CH. STEINBRüCHEL, A. NäRMANN, W. HEILAND, R.
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