Laser Processing of Thin Films and Microstructures : Oxidation, Deposition and Etching of Insulators

Sprache: Englisch

Verlag: Springer, 2011

3642831389 / 9783642831386

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Druck auf Anfrage Neuware - Printed after ordering - This text aims at providing a comprehensive and up to date treatment of the new and rapidly expanding field of laser pro cessing of thin films, particularly, though by no means exclu sively, of recent progress in the dielectrics area. The volume covers all the major aspects of laser processing technology in general, from the background and history to its many potential applications, and from the theory to the necessary experimental considerations. It highlights and compares the vast array of processing conditions now available with intense photon beams, as well as the properties of the films and microstructures pro duced. Separate chapters deal with the fundamentals of laser interactions with matter, and with experimental considerations. Detailed consideration is also given to film deposition, nuclea tion and growth, oxidation and annealing, as well as selective and localized. etching and ablation, not only in terms of the various photon-induced processes, but also with respect to traditional as well as other competing new technologies.…

Bestandsnummer des Verkäufers 9783642831386

Titel
Laser Processing of Thin Films and Microstructures : Oxidation, Deposition and Etching of Insulators
Autor
Ian W. Boyd
Verlag
Springer
Erscheinungsjahr
2011
Zustand
Neu
Einband
Taschenbuch
Sprache
Englisch
ISBN-10
3642831389
ISBN-13
9783642831386
Artikelgewicht
505 Gramm
Abmessungen
235x155x19 mm

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