MATERIALS MODIFICATION BY ENERGETIC ATOMS AND IONS
KENNETH S. GRABOWSKI, NAVAL RESEARCH LABORATORY, WASHINGTON, D.C.SCOTT A. BARNETT, NORTHWESTERN UNIVERSITY, ILLINOISSTEPHEN M. ROSSNAGEL, IBM T J WATSON RESEARCH CENTER, NEW YORKKIYOTAKA WASA, RESEARCH LABORATORY OF INNOVATIVE, TECHNOLOGY FOR THE EARTH (RITE) KYOTO
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