MEMS Vibratory Gyroscopes : Structural Approaches to Improve Robustness

Sprache: Englisch

Verlag: Springer, 2010

1441934898 / 9781441934895

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Druck auf Anfrage Neuware - Printed after ordering - MEMS Vibratory Gyroscopes provides a solid foundation in the theory and fundamental operational principles of micromachined vibratory rate gyroscopes, and introduces structural designs that provide inherent robustness against structural and environmental variations. In the first part, the dynamics of the vibratory gyroscope sensing element is developed, common micro-fabrication processes and methods commonly used in inertial sensor production are summarized, design of mechanical structures for both linear and torsional gyroscopes are presented, and electrical actuation and detection methods are discussed along with details on experimental characterization of MEMS gyroscopes. In the second part, design concepts that improve robustness of the micromachined sensing element are introduced, supported by constructive computational examples and experimental results illustrating the material.

Bestandsnummer des Verkäufers 9781441934895

Titel
MEMS Vibratory Gyroscopes : Structural Approaches to Improve Robustness
Autor
Cenk Acar
Verlag
Springer
Erscheinungsjahr
2010
Zustand
Neu
Einband
Taschenbuch
Sprache
Englisch
ISBN-10
1441934898
ISBN-13
9781441934895
Artikelgewicht
411 Gramm
Abmessungen
235x155x15 mm

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