MEMS/NEMS Sensors: Fabrication and Application (Paperback or Softback)

Koley, Goutam

ISBN 10: 3039216341 ISBN 13: 9783039216345

Verlag: Mdpi AG 11/20/2019, 2019

Sprache: Englisch

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Beschreibung

MEMS/NEMS Sensors: Fabrication and Application 1.16.

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Titel

MEMS/NEMS Sensors: Fabrication and Application (Paperback or Softback)

Verlag

Mdpi AG 11/20/2019

Erscheinungsjahr

2019

Sprache

Englisch

ISBN-10

3039216341

ISBN-13

9783039216345

Einband

Paperback or Softback

Zustand

New

Buchtyp

Book

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Inhaltsangabe

Due to the ever-expanding applications of micro/nano-electromechanical systems (NEMS/MEMS) as sensors and actuators, interest in their development has rapidly expanded over the past decade. Encompassing various excitation and readout schemes, the MEMS/NEMS devices transduce physical parameter changes, such as temperature, mass or stress, caused by changes in desired measurands, to electrical signals that can be further processed. Some common examples of NEMS/MEMS sensors include pressure sensors, accelerometers, magnetic field sensors, microphones, radiation sensors, and particulate matter sensors.

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