Micromachining Techniques for Fabrication of Micro and Nano Structures

Sprache: Englisch

Verlag: Intechopen, 2012

9533079061 / 9789533079066

Anbieter: AHA-BUCH GmbH, Einbeck, DeutschlandAHA-BUCH GmbH

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nach der Bestellung gedruckt Neuware - Printed after ordering - Micromachining is used to fabricate three-dimensional microstructures and it is the foundation of a technology called Micro-Electro-Mechanical-Systems (MEMS). Bulk micromachining and surface micromachining are two major categories (among others) in this field. This book presents advances in micromachining technology. For this, we have gathered review articles related to various techniques and methods of micro/nano fabrications, like focused ion beams, laser ablation, and several other specialized techniques, from esteemed researchers and scientists around the world. Each chapter gives a complete description of a specific micromachining method, design, associate analytical works, experimental set-up, and the final fabricated devices, followed by many references related to this field of research available in other literature. Due to the multidisciplinary nature of this technology, the collection of articles presented here can be used by scientists and researchers in the disciplines of engineering, materials sciences, physics, and chemistry.

Bestandsnummer des Verkäufers 9789533079066

Titel
Micromachining Techniques for Fabrication of Micro and Nano Structures
Autor
Mojtaba Kahrizi
Verlag
Intechopen
Veröffentlichungsjahr
2012
Zustand
Neu
Einband
Buch
Sprache
Englisch
ISBN-10
9533079061
ISBN-13
9789533079066
Artikelgewicht
892 Gramm
Abmessungen
266x185x26 mm

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