Micromachining and microfabrication process technology II: 14-15 October, 1996, Austin, Texas (Proceedings / SPIE--the International Society of Optical Engineering)

Pang, Stella W

ISBN 10: 0819422770 ISBN 13: 9780819422774
Verlag: SPIE--The International Society of Optical Enginee, 1996
Sprache: Englisch
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