Optical microlithography IV: March 13-14, 1985, Santa Clara, California (Proceedings of SPIE--the International Society for Optical Engineering). Dieser Artikel ist nicht verfügbar.
Sprache: Englisch
Verlag: SPIE--the International Society for Optical Engine, 1985
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Bibliografische Details
- Titel
- Optical microlithography IV: March 13-14, 1985, Santa Clara, California (Proceedings of SPIE--the International Society for Optical Engineering)
- Autor
- Harry L. (Editor) Stover
- Verlag
- SPIE--the International Society for Optical Engine
- Erscheinungsjahr
- 1985
- Zustand
- Very Good
- Schutzumschlag
- Schutzumschlag
- Buchtyp
- book
- Einband
- paperback
- Sprache
- Englisch
- ISBN-10
- 0892525738
- ISBN-13
- 9780892525737