PVD for Microelectronics: Sputter Desposition to Semiconductor Manufacturing

Sprache: Englisch

Verlag: Elsevier Science & Technology, Academic Press, 1999

012533026X / 9780125330268

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This item is printed on demand - it takes 3-4 days longer - Neuware -Physics of Thin Films is one of the longest running continuing series in thin film science, consisting of 25 volumes since 1963. The series contains quality studies of the properties of various thin films materials and systems.In order to be able to reflect the development of today's science and to cover all modern aspects of thin films, the series, starting with Volume 20, has moved beyond the basic physics of thin films. It now addresses the most important aspects of both inorganic and organic thin films, in both their theoretical as well as technological aspects. Therefore, in order to reflect the modern technology-oriented problems, the title has been slightly modified from Physics of Thin Films to Thin Films.This volume, part of the Thin Films Series, has been wholly written by two authors instead of showcasing several edited manuscripts. Englisch.

Bestandsnummer des Verkäufers 9780125330268

Titel
PVD for Microelectronics: Sputter Desposition to Semiconductor Manufacturing
Autor
Stephen M. Rossnagel
Verlag
Elsevier Science & Technology, Academic Press
Veröffentlichungsjahr
1999
Zustand
Neu
Einband
Buch
Sprache
Englisch
ISBN-10
012533026X
ISBN-13
9780125330268
Artikelgewicht
810 Gramm
Abmessungen
229x152x23 mm

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