Planar Processing Primer

Sprache: Englisch

Verlag: Springer, Springer, 2011

9401066825 / 9789401066822

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Druck auf Anfrage Neuware - Printed after ordering - Planar Processing Primer is based on lecture notes for a silicon planar process ing lecture/lab course offered at the University of Illinois-UC for over fifteen years. Directed primarily to electrical engineering upperclassmen and graduate students, the material also has been used successfully by graduate students in physics and ceramic and metallurgical engineering. It is suitable for self-study by engineers trained in other disciplines who are beginning work in the semiconductor fields, and it can make circuit design engineers aware of the processing limitations under which they must work. The text describes and explains, at an introductory level, the principal processing steps used to convert raw silicon into a semiconductor device or integrated circuit. First-order models are used for theoretical treatments (e.g., of diffusion and ion implantation), with reference made to more advanced treatments, to computer programs such as SUPREM that include higher order effects, and to interactions among sequential processes. In Chapters 8, 9, and to, the application of silicon processes to compound semiconductors is discussed briefly. Over the past several years, the size of transistors has decreased markedly, allowing more transistors per chip unit area, and chip size has increased.

Bestandsnummer des Verkäufers 9789401066822

Titel
Planar Processing Primer
Autor
G. Anner
Verlag
Springer, Springer
Veröffentlichungsjahr
2011
Zustand
Neu
Einband
Taschenbuch
Sprache
Englisch
ISBN-10
9401066825
ISBN-13
9789401066822
Artikelgewicht
929 Gramm
Abmessungen
229x152x35 mm

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