Plasma Etching: Fundamentals and Applications (Series on Semiconductor Science and Technology)

Sugawara, M.

ISBN 10: 019856287X ISBN 13: 9780198562870

Verlag: Oxford University Press, 1998

Sprache: Englisch

Zustand: Neu Hardcover

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Titel

Plasma Etching: Fundamentals and Applications (Series on Semiconductor Science and Technology)

Verlag

Oxford University Press

Erscheinungsjahr

1998

Sprache

Englisch

ISBN-10

019856287X

ISBN-13

9780198562870

Einband

Hardcover

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�ber diesen Titel

Inhaltsangabe

The focus of this book is the remarkable advances in understanding of low pressure RF (radio frequency) glow discharges. A basic analytical theory and plasma physics are explained. Plasma diagnostics are also covered before the practicalities of etcher use are explored.

�ber die Autorin bzw. den Autor

Professor Minoru Sugawara, Hachinohe Institute of Technology, Hachinohe-city, Aomori 031, Japan. Fax: (0) 178 25 1430

��ber diesen Titel� kann sich auf eine andere Ausgabe dieses Titels beziehen.

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