Plasma-Surface Interactions and Processing of Materials
O. Auciello (u. a.)
ISBN 10: 0792305841 ISBN 13: 9780792305842
Verlag: Springer, 1990
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Plasma-Surface Interactions and Processing of Materials | O. Auciello (u. a.) | Buch | xiv | Englisch | 1990 | Springer | EAN 9780792305842 | Verantwortliche Person für die EU: Springer Verlag GmbH, Tiergartenstr. 17, 69121 Heidelberg, juergen[dot]hartmann[at]springer[dot]com | Anbieter: preigu Print on Demand. Bestandsnummer des Verkäufers 102439695
Inhaltsangabe:
An understanding of the processes involved in the basic and applied physics and chemistry of the interaction of plasmas with materials is vital to the evolution of technologies such as those relevant to microelectronics, fusion and space.
The subjects dealt with in the book include: the physics and chemistry of plasmas, plasma diagnostics, physical sputtering and chemical etching, plasma assisted deposition of thin films, ion and electron bombardment, and plasma processing of inorganic and polymeric materials.
The book represents a concentration of a substantial amount of knowledge acquired in this area - knowledge which was hitherto widely scattered throughout the literature - and thus establishes a baseline reference work for both established and tyro research workers.
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Bibliografische Details
Titel: Plasma-Surface Interactions and Processing ...
Verlag: Springer
Erscheinungsdatum: 1990
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Gebunden. Zustand: New. Dieser Artikel ist ein Print on Demand Artikel und wird nach Ihrer Bestellung fuer Sie gedruckt. Proceedings of the NATO Advanced Study Institute, Alicante, Spain, September 4-16, 1988 An understanding of the processes involved in the basic and applied physics and chemistry of the interaction of plasmas with materials is vital to the evoluti. Bestandsnummer des Verkäufers 5965903
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Buch. Zustand: Neu. This item is printed on demand - Print on Demand Titel. Neuware -An understanding of the processes involved in the basic and applied physics and chemistry of the interaction of plasmas with materials is vital to the evolution of technologies such as those relevant to microelectronics, fusion and space.The subjects dealt with in the book include: the physics and chemistry of plasmas, plasma diagnostics, physical sputtering and chemical etching, plasma assisted deposition of thin films, ion and electron bombardment, and plasma processing of inorganic and polymeric materials.The book represents a concentration of a substantial amount of knowledge acquired in this area - knowledge which was hitherto widely scattered throughout the literature - and thus establishes a baseline reference work for both established and tyro research workers.Springer-Verlag KG, Sachsenplatz 4-6, 1201 Wien 576 pp. Englisch. Bestandsnummer des Verkäufers 9780792305842
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Plasma-Surface Interactions and Processing of Materials
Verlag:
Springer Netherlands Jan 1990, 1990
ISBN 10: 0792305841
ISBN 13: 9780792305842
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Buch. Zustand: Neu. This item is printed on demand - it takes 3-4 days longer - Neuware -An understanding of the processes involved in the basic and applied physics and chemistry of the interaction of plasmas with materials is vital to the evolution of technologies such as those relevant to microelectronics, fusion and space. The subjects dealt with in the book include: the physics and chemistry of plasmas, plasma diagnostics, physical sputtering and chemical etching, plasma assisted deposition of thin films, ion and electron bombardment, and plasma processing of inorganic and polymeric materials. The book represents a concentration of a substantial amount of knowledge acquired in this area - knowledge which was hitherto widely scattered throughout the literature - and thus establishes a baseline reference work for both established and tyro research workers. 576 pp. Englisch. Bestandsnummer des Verkäufers 9780792305842
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