Plasma-Surface Interactions and Processing of Materials

Sprache: Englisch

Verlag: Springer Netherlands Okt 2011, 2011

9401073694 / 9789401073691

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This item is printed on demand - it takes 3-4 days longer - Neuware -An understanding of the processes involved in the basic and applied physics and chemistry of the interaction of plasmas with materials is vital to the evolution of technologies such as those relevant to microelectronics, fusion and space. The subjects dealt with in the book include: the physics and chemistry of plasmas, plasma diagnostics, physical sputtering and chemical etching, plasma assisted deposition of thin films, ion and electron bombardment, and plasma processing of inorganic and polymeric materials. The book represents a concentration of a substantial amount of knowledge acquired in this area - knowledge which was hitherto widely scattered throughout the literature - and thus establishes a baseline reference work for both established and tyro research workers. 576 pp. Englisch.

Bestandsnummer des Verkäufers 9789401073691

Titel
Plasma-Surface Interactions and Processing of Materials
Autor
O. Auciello
Verlag
Springer Netherlands Okt 2011
Erscheinungsjahr
2011
Zustand
Neu
Einband
Taschenbuch
Sprache
Englisch
ISBN-10
9401073694
ISBN-13
9789401073691
Artikelgewicht
861 Gramm
Abmessungen
235x155x31 mm

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