Polycrystalline Silicon for Integrated Circuit Applications

Sprache: Englisch

Verlag: Springer US Jan 1988, 1988

0898382599 / 9780898382594

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This item is printed on demand - it takes 3-4 days longer - Neuware -Recent years have seen silicon integrated circuits enter into an increasing number of technical and consumer applications, until they now affect everyday life, as well as technical areas. Polycrystalline silicon has been an important component of silicon technology for nearly two decades, being used first in MOS integrated circuits and now becoming pervasive in bipolar circuits, as well. During this time a great deal of informa tion has been published about polysilicon. A wide range of deposition conditions has been used to form films exhibiting markedly different properties. Seemingly contradictory results can often be explained by considering the details of the structure formed. This monograph is an attempt to synthesize much of the available knowledge about polysilicon. It represents an effort to interrelate the deposition, properties, and applications of polysilicon so that it can be used most effectively to enhance device and integrated-circuit perfor mance. As device performance improves, however, some of the proper ties of polysilicon are beginning to restrict the overall performance of integrated circuits, and the basic limitations of the properties of polysili con also need to be better understood to minimize potential degradation of circuit behavior. 308 pp. Englisch.

Bestandsnummer des Verkäufers 9780898382594

Titel
Polycrystalline Silicon for Integrated Circuit Applications
Autor
Ted Kamins
Verlag
Springer US Jan 1988
Veröffentlichungsjahr
1988
Zustand
Neu
Einband
Buch
Sprache
Englisch
ISBN-10
0898382599
ISBN-13
9780898382594
Artikelgewicht
629 Gramm
Abmessungen
241x160x22 mm

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