ISBN 10: 0070576971 / ISBN 13: 9780070576971
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Inhaltsangabe: The definitive reference on semiconductor characterization tools! Here, in one well-organized volume, are detailed explanations of the advanced and "traditional") techniques for evaluating virtually every criterion: crystal defects, impurity concentration, lifetime, film thickness, resistivity, and such critical electrical properties as mobility, Hall effect, and conductivity type. Reliable, high-accuracy methods of measuring hardness, stress, and various kinds of surface contamination are also included. In addition to its value as a practical everyday reference, the text also serves as an excellent user's guide to the latest methods of optical microscopy, scanning electron microscopy (SEM), electron microprobe analysis, transmission electron microscopy (TEM), Auger electron spectroscopy (AES), scanning probe microscopy (SPM), and secondary ion mass spectrometry (SIMS). This is the only guide that offers such "dual coverage" of its topic -- in terms of both measurements and tools.

Klappentext: The definitive reference on semiconductor characterization tools! Semiconductor Measurements & Instrumentation, Second Edition. This fully updated edition of the classic reference incorporates all the new approaches and tools for semiconductor material characterization that have been developed to accomodate ever-shrinking semiconductor geometries. Here, in one well-organized volume, are detialed explanations of the advanced techniques for evaluating virtually every criterion: crystal defects, impurity concentration, lifetime, film thickness, resistivity, and such critical electrical properties as mobility, Hall effect, and conductivity type. Reliable, high-accuracy methods of measuring hardness, stress, and various kinds of surface contamination are also included. In addition to its value as a practical everyday reference, the text also serves as an excellent user's guide to the latest methods of optical microscopy, scanning electron microscopy (SEM), electron microprobe analysis, transmission electron microscopy (TEM), Auger electron spectroscopy (AES), scanning probe microscopy (SPM), and secondary ion mass spectrometry (SIMS). As the only guide that offers such "dual coverage" of its topic--in terms of both measurements and tools--and this timely and thorough reference is sure to be of considerable ongoing benefit to solid state and semiconductor engineers.

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Bibliografische Details




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1.

W. R. Runyan, T. J. Shaffner
Verlag: McGraw-Hill Professional (1998)
ISBN 10: 0070576971 ISBN 13: 9780070576971
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Buchbeschreibung McGraw-Hill Professional, 1998. Buchzustand: Good. 2nd Edition. N/A. Ships from Reno, NV. Shows some signs of wear, and may have some markings on the inside. Buchnummer des Verkäufers GRP85677577

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Buchbeschreibung McGraw-Hill Professional, 1998. Buchzustand: Very Good. 2nd Edition. N/A. Former Library book. Great condition for a used book! Minimal wear. Buchnummer des Verkäufers GRP92926649

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W. R. Runyan, T. J. Shaffner
Verlag: McGraw-Hill Professional (1998)
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Buchbeschreibung McGraw-Hill Professional, 1998. Buchzustand: Very Good. 2nd Edition. N/A. Ships from the UK. Former Library book. Great condition for a used book! Minimal wear. Buchnummer des Verkäufers GRP91310475

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W. R. Runyan
Verlag: McGraw-Hill Professional (1998)
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Buchbeschreibung McGraw-Hill Professional, 1998. Buchzustand: Good. This is an ex-library book and may have the usual library/used-book markings inside.This book has hardback covers. In good all round condition. No dust jacket. , 950grams, ISBN:9780070576971. Buchnummer des Verkäufers 6429658

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W. R. Runyan
Verlag: McGraw-Hill Professional 1998-02-01 (1998)
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Buchbeschreibung McGraw-Hill Professional 1998-02-01, 1998. Hardcover. Buchzustand: good. 2. 0070576971. Buchnummer des Verkäufers 512310

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Runyan, W. R.; Shaffner, T. J.
Verlag: McGraw-Hill Professional (1998)
ISBN 10: 0070576971 ISBN 13: 9780070576971
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Buchbeschreibung McGraw-Hill Professional, 1998. Hardcover. Buchzustand: Used: Good. We ship International with Tracking Number! May not contain Access Codes or Supplements. Buy with confidence, excellent customer service! j. Buchnummer des Verkäufers 0070576971D

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