Sensor-based Modeling and Monitoring of Chemical Mechanical Polishing: Analysis of Experimental Sensor Data Integrating Statistical Time Series Analysis and Nonlinear Dynamics (Chaos Theory) Paradigms
Prahalada Rao
ISBN 10:
363903564X ISBN 13:
9783639035643
Verlag: VDM Verlag Dr. M�ller 2008-12-03, 2008
Sprache: Englisch
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