Sensor-based Modeling and Monitoring of Chemical Mechanical Polishing: Analysis of Experimental Sensor Data Integrating Statistical Time Series Analysis and Nonlinear Dynamics (Chaos Theory) Paradigms

Sprache: Englisch

Verlag: VDM Verlag Dr. Mller 2008-12-03, 2008

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Titel
Sensor-based Modeling and Monitoring of Chemical Mechanical Polishing: Analysis of Experimental Sensor Data Integrating Statistical Time Series Analysis and Nonlinear Dynamics (Chaos Theory) Paradigms
Autor
Prahalada Rao
Verlag
VDM Verlag Dr. Mller 2008-12-03
Erscheinungsjahr
2008
Zustand
New
Einband
Paperback
Sprache
Englisch
ISBN-10
363903564X
ISBN-13
9783639035643

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