Spectroscopic Ellipsometry and Reflectometry: A User's Guide
Tompkins, Harland G.; McGahan, William A.
ISBN 10: 0471181722 ISBN 13: 9780471181729
Verlag: Wiley-Interscience, 1999
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Inhaltsangabe:
While single wave ellipsometry has been around for years, spectroscopic ellipsometry is fast becoming the method of choice for measuring the thickness and optical properties of thin films. This book provides the first practical introduction to spectroscopic ellipsometry and the related techniques of reflectometry. A guide for practitioners and researchers in a variety of disciplines, it addresses a broad range of applications in physics, chemistry, electrical engineering, and materials science.
Über die Autorin bzw. den Autor:
Harland Tompkins retired from full-time employment in 2001. During his full-time employment, he was employed by General Electric Co., Bell Laboratories, the Idaho National Engineering Lab, and Motorola.
William A. McGahan is the author of Spectroscopic Ellipsometry and Reflectometry: A User's Guide, published by Wiley.
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Bibliografische Details
Titel: Spectroscopic Ellipsometry and Reflectometry...
Verlag: Wiley-Interscience
Erscheinungsdatum: 1999
Einband: Hardcover
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