Sputtering by Particle Bombardment

Sprache: Englisch

Verlag: Springer Berlin Heidelberg Nov 2010, 2010

364207944X / 9783642079443

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This item is printed on demand - it takes 3-4 days longer - Neuware -Earlier books on this subject, i.e. 'Sputtering by Particle Bombardment I - III' are nearly 20 years old, but since then a lot of new and important work has been performed and published in international journals. The planned book brings an overview about all the new results. This concerns especially a new summary of the measured and calculated sputtering yields with an algebraic approximation formula for the energy and angular dependence of the yields. This is especially useful for all colleagues, who need sputtering yields for physics and/or applied problems. The computational methods for calculating sputtering yields are critically reviewed, Molecular dynamics calculations have not been covered in the previous books on sputtering. The influence of chemical effects on sputtering and the new models developed in the last years for understanding these effects, such as for hydrogen ion bombardment of carbon, are outlined. New developments, such as sputtering by MeV Ions and the mechanisms for understanding the effects are presented. The new results about the angular and energy distributions of sputtered atoms are presented in an extra chapter. 528 pp. Englisch.…

Bestandsnummer des Verkäufers 9783642079443

Titel
Sputtering by Particle Bombardment
Autor
Wolfgang Eckstein
Verlag
Springer Berlin Heidelberg Nov 2010
Erscheinungsjahr
2010
Zustand
Neu
Einband
Taschenbuch
Sprache
Englisch
ISBN-10
364207944X
ISBN-13
9783642079443
Artikelgewicht
791 Gramm
Abmessungen
235x155x29 mm

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