Surface Chemical Cleaning and Passivation for Semiconductor Processing

Sprache: Englisch

Verlag: Materials Research Society, Pittsburgh, Pennsylvania

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Bibliografische Details

Titel
Surface Chemical Cleaning and Passivation for Semiconductor Processing
Autor
Gregg s. Higashi, Eugene A. Irene, Tadahiro Ohmi
Verlag
Materials Research Society, Pittsburgh, Pennsylvania
Zustand
Gut
Einband
Hardcover
Sprache
Englisch

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