Technologien Der Mikrosysteme (Paperback or Softback)

Ngo, Ha Duong

ISBN 10: 3658374977 ISBN 13: 9783658374976

Verlag: Springer Vieweg 1/2/2023, 2023

Sprache: Deutsch

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Technologien Der Mikrosysteme 0.92.

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Bibliografische Details

Titel

Technologien Der Mikrosysteme (Paperback or Softback)

Verlag

Springer Vieweg 1/2/2023

Erscheinungsjahr

2023

Sprache

Deutsch

ISBN-10

3658374977

ISBN-13

9783658374976

Einband

Paperback or Softback

Zustand

New

Buchtyp

Book

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�ber diesen Titel

Inhaltsangabe

Das Buch vermittelt die Grundlagen zur Herstellung und dem Aufbau von Mikrosystemen. Es kann in zwei Teile aufgeteilt werden. Der Schwerpunkt von Teil I liegt hierbei auf den Mikrofertigungsprozessen und behandelt die Siliziumtechnologie, mikromechanische Strukturierungs- (anisotropes �tzen, DRIE) und Bondprozesse (Eutectic Bonding, Fusion Bonding). Teil II behandelt die Aufbau- und Verbindungstechnik f�r Mikrosysteme und vermittelt Kenntnisse zu den Prinzipien der Chipmontage. Dabei stehen u.a. die Beschichtungstechnologien (Metallisierungssysteme) und Kontaktiertechnologien (L�ten, Kleben, Bonden) im Vordergrund.

�ber die Autorin bzw. den Autor

Ha Duong Ngo ist seit 2012 Professor f�r Mikrosystemtechnik und Mikrosensorik an der Hochschule f�r Technik und Wirtschaft Berlin. Von 2015 bis 2021 war er Gruppenleiter Mikrosensorik am Fraunhofer Institut IZM Berlin. Davor war er Oberingenieur an der Technische Universit�t Berlin auf dem Gebiet Mikrosensor/Mikroaktuatorik und Referent Technologie bei Firma Schott AG.

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