Theoretical Study in Doping Process: Ion Implantation and Diffusion

Sprache: Englisch

Verlag: LAP Lambert Academic Publishing, 2012

3659170062 / 9783659170065

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nach der Bestellung gedruckt Neuware - Printed after ordering - Ion implantation and diffusion which occur during irradiation are investigated through out series of related processes. In our study, the whole process will be viewed as a two-step process. The first includes the implantation process. The equation of motion for ion implantation is considered as a modified form of Fick's law, which solved analytically taking the sputtering process into account. The second step i.e. the step of ion-redistribution through out diffusion is studied keeping in mind that the total number of impurities is conserved in the step of injection and diffusion. The case of diffusion-concentration dependence and the suitable equation for thermal diffusion is studied too. The steady state situation is studied extendedly. The diffusion in multilayer structure and a useful introduction about hererostructures is given with important related effects are presented. Extended theoretical treatment concerned with the extension to multilayer structures is presented. The case of 'constant-surface-concentration-diffusion' is treated by considering the surface to be covered with certain type of adatoms. The coverage-dependent diffusion is modeled by assuming certain form.…

Bestandsnummer des Verkäufers 9783659170065

Titel
Theoretical Study in Doping Process: Ion Implantation and Diffusion
Autor
Fatima Al-Saeed
Verlag
LAP Lambert Academic Publishing
Erscheinungsjahr
2012
Zustand
Neu
Einband
Taschenbuch
Sprache
Englisch
ISBN-10
3659170062
ISBN-13
9783659170065
Artikelgewicht
243 Gramm
Abmessungen
220x176x33 mm

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