Ultraclean Surface Processing of Silicon Wafers : Secrets of VLSI Manufacturing

Sprache: Englisch

Verlag: Springer, Berlin, Springer Berlin Heidelberg, Springer, 1998

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Druck auf Anfrage Neuware - Printed after ordering - A totally new concept for clean surface processing of Si wafers is introduced in this book. Some fifty distinguished researchers and engineers from the leading Japanese semiconductor companies, such as NEC, Hitachi, Toshiba, Sony and Panasonic as well as from several universities reveal to us for the first time the secrets of these highly productive institutions. They describe the techniques and equipment necessary for the preparation of clean high-quality semiconductor surfaces as a first step in high-yield/high-quality device production. This book thus opens the door to the manufacturing of reliable nanoscale devices and will be extremely useful for every engineer, physicist and technician involved inthe production of silicon semiconductor devices.

Bestandsnummer des Verkäufers 9783540616726

Titel
Ultraclean Surface Processing of Silicon Wafers : Secrets of VLSI Manufacturing
Autor
Takeshi Hattori
Verlag
Springer, Berlin, Springer Berlin Heidelberg, Springer
Erscheinungsjahr
1998
Zustand
Neu
Einband
Buch
Sprache
Englisch
ISBN-10
3540616721
ISBN-13
9783540616726
Artikelgewicht
890 Gramm
Abmessungen
238x153x44 mm

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