Updates in Advanced Lithography

Sprache: Englisch

Verlag: Intechopen, 2013

9535111752 / 9789535111757

Anbieter: AHA-BUCH GmbH, Einbeck, DeutschlandAHA-BUCH GmbH

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nach der Bestellung gedruckt Neuware - Printed after ordering - Advanced lithography grows up to several fields such as nano-lithography, micro electro-mechanical system (MEMS) and nano-phonics, etc. Nano-lithography reaches to 20 nm size in advanced electron device. Consequently, we have to study and develop true single nanometer size lithography. One of the solutions is to study a fusion of top down and bottom up technologies such as EB drawing and self-assembly with block copolymer. In MEMS and nano-photonics, 3 dimensional structures are needed to achieve some functions in the devices for the applications. Their formation are done by several methods such as colloid lithography, stereo-lithography, dry etching, sputtering, deposition, etc. This book covers a wide area regarding nano-lithography, nano structure and 3-dimensional structure, and introduces readers to the methods, methodology and its applications.

Bestandsnummer des Verkäufers 9789535111757

Titel
Updates in Advanced Lithography
Autor
Sumio Hosaka
Verlag
Intechopen
Erscheinungsjahr
2013
Zustand
Neu
Einband
Buch
Sprache
Englisch
ISBN-10
9535111752
ISBN-13
9789535111757
Artikelgewicht
716 Gramm
Abmessungen
266x185x23 mm

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