X-Ray Metrology in Semiconductor Manufacturing

Sprache: Englisch

Verlag: CRC Press Jan 2006, 2006

0849339286 / 9780849339288

Anbieter: AHA-BUCH GmbH, Einbeck, DeutschlandAHA-BUCH GmbH

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Neuware - The scales involved in modern semiconductor manufacturing and microelectronics continue to plunge downward. Effective and accurate characterization of materials with thicknesses below a few nanometers can be achieved using x-rays. While many books are available on the theory behind x-ray metrology (XRM), X-Ray Metrology in Semiconductor Manufacturing is the first book to focus on the practical aspects of the technology and its application in device fabrication and solving new materials problems.Following a general overview of the field, the first section of the book is organized by application and outlines the techniques that are best suited to each. The next section delves into the techniques and theory behind the applications, such as specular x-ray reflectivity, diffraction imaging, and defect mapping. Finally, the third section provides technological details of each technique, answering questions commonly encountered in practice. The authors supply real examples from the semiconductor and magnetic recording industries as well as more than 150 clearly drawn figures to illustrate the discussion. They also summarize the principles and key information about each method with inset boxes found throughout the text.Written by world leaders in the field, X-Ray Metrology in Semiconductor Manufacturing provides real solutions with a focus on accuracy, repeatability, and throughput.

Bestandsnummer des Verkäufers 9780849339288

Titel
X-Ray Metrology in Semiconductor Manufacturing
Autor
Brian K Tanner
Verlag
CRC Press Jan 2006
Veröffentlichungsjahr
2006
Zustand
Neu
Einband
Buch
Sprache
Englisch
ISBN-10
0849339286
ISBN-13
9780849339288
Artikelgewicht
565 Gramm
Abmessungen
244x164x19 mm

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