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Handbook of VLSI Microlithography: Principles, Technology and Applications
Anbieter: ThriftBooks-Atlanta, AUSTELL, GA, USA
Verkäuferbewertung 5 von 5 Sternen
EUR 15,23
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In den WarenkorbHardcover. Zustand: Good. No Jacket. Missing dust jacket; Pages can have notes/highlighting. Spine may show signs of wear. ~ ThriftBooks: Read More, Spend Less 1.55.
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Handbook of VLSI Microlithography: Principles, Technology and Applications (Materials Science and Process Technology) [Hardcover] Glendinning, William B. and Helbert, John N.
Anbieter: Hay-on-Wye Booksellers, Hay-on-Wye, HEREF, Vereinigtes Königreich
Verkäuferbewertung 5 von 5 Sternen
EUR 23,58
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Handbook Of Vlsi Microlithography : Principles, Technology And Applications
Anbieter: Romtrade Corp., STERLING HEIGHTS, MI, USA
Verkäuferbewertung 5 von 5 Sternen
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HANDBOOK OF VLSI MICROLITHOGRAPHY : PRINCIPLES, TECHNOLOGY AND APPLICATIONS
Anbieter: Basi6 International, Irving, TX, USA
Verkäuferbewertung 5 von 5 Sternen
EUR 51,70
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In den WarenkorbZustand: Brand New. New. US edition. Expediting shipping for all USA and Europe orders excluding PO Box. Excellent Customer Service.
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Handbook of VLSI Microlithography: Principles, Technology and Applications (Materials Science and Process Technology)
Verlag: William Andrew 1991-01-01, 1991
ISBN 10: 0815512813 ISBN 13: 9780815512813
Sprache: Englisch
Anbieter: Chiron Media, Wallingford, Vereinigtes Königreich
Verkäuferbewertung 4 von 5 Sternen
EUR 45,42
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Handbook of Vlsi Microlithography: Principles, Technology and Applications
Anbieter: Revaluation Books, Exeter, Vereinigtes Königreich
Verkäuferbewertung 5 von 5 Sternen
EUR 52,60
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In den WarenkorbHardcover. Zustand: Brand New. 1st edition. 671 pages. 10.00x6.75x2.25 inches. In Stock.
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Handbook of VLSI Microlithography: Principles, Technology and Applications (Materials Science and Process Technology)
Anbieter: Ria Christie Collections, Uxbridge, Vereinigtes Königreich
Verkäuferbewertung 5 von 5 Sternen
EUR 65,48
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Handbook of Vlsi Microlithography : Principles, Technology and Applications
Anbieter: GreatBookPricesUK, Woodford Green, Vereinigtes Königreich
Verkäuferbewertung 5 von 5 Sternen
EUR 59,91
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Handbook of Vlsi Microlithography : Principles, Technology and Applications
Anbieter: GreatBookPrices, Columbia, MD, USA
Verkäuferbewertung 5 von 5 Sternen
EUR 62,71
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Handbook of Vlsi Microlithography : Principles, Technology and Applications
Anbieter: GreatBookPricesUK, Woodford Green, Vereinigtes Königreich
Verkäuferbewertung 5 von 5 Sternen
EUR 71,65
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Handbook of Vlsi Microlithography : Principles, Technology and Applications
Anbieter: GreatBookPrices, Columbia, MD, USA
Verkäuferbewertung 5 von 5 Sternen
EUR 72,52
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Handbook of VLSI Microlithography : Principles, Technology and Applications
Verlag: Elsevier Science & Technology, William Andrew, 1991
ISBN 10: 0815512813 ISBN 13: 9780815512813
Sprache: Englisch
Anbieter: AHA-BUCH GmbH, Einbeck, Deutschland
Verkäuferbewertung 5 von 5 Sternen
EUR 65,55
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In den WarenkorbBuch. Zustand: Neu. nach der Bestellung gedruckt Neuware - Printed after ordering - This handbook gives readers a close look at the entire technology of printing very high resolution and high density integrated circuit (IC) patterns into thin resist process transfer coatings-- including optical lithography, electron beam, ion beam, and x-ray lithography. The book's main theme is the special printing process needed to achieve volume high density IC chip production, especially in the Dynamic Random Access Memory (DRAM) industry. The book leads off with a comparison of various lithography methods, covering the three major patterning parameters of line/space, resolution, line edge and pattern feature dimension control. The book's explanation of resist and resist process equipment technology may well be the first practical description of the relationship between the resist process and equipment parameters. The basics of resist technology are completely covered -- including an entire chapter on resist process defectivity and the potential yield limiting effect on device production. Each alternative lithographic technique and testing method is considered and evaluated: basic metrology including optical, scanning-electron-microscope (SEM) techniques and electrical test devices, along with explanations of actual printing tools and their design, construction and performance. The editor devotes an entire chapter to today's sophisticated, complex electron-beam printers, and to the emerging x-ray printing technology now used in high-density CMOS devices. Energetic ion particle printing is a controllable, steerable technology that does not rely on resist, and occupies a final section of the handbook.
