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Bibliografische Details

Titel: Handbook of Plasma Processing Technology: Fundamental, Etching, Deposition and Surface Interactions (Materials Science and Process Technology)
Verlag: Noyes Publications, USA
Erscheinungsjahr: 1991
Sprache: Englisch
ISBN-10: 0815512201
ISBN-13: 9780815512202
Einband: Hardcover
Auflage: 1st Edition
Zustand: Fine

�ber diesen Titel

Inhaltsangabe

This is a comprehensive overview of the technology of plasma-based processing, written by an outstanding group of 29 contributors.

Cr�ticas

"The text provides and excellent reference for plasma processing." - SAMPE Journal

��ber diesen Titel� kann sich auf eine andere Ausgabe dieses Titels beziehen.

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