Handbook of Plasma Processing Technology : Fundamental, Etching, Deposition and Surface Interactions

Rossnagel, Stephen M., Cuomo, Jerome J., Westwood, William D.

ISBN 10: 0815512201 ISBN 13: 9780815512202

Verlag: Elsevier Science & Technology Books, 1990

Sprache: Englisch

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Bibliografische Details

Titel

Handbook of Plasma Processing Technology : Fundamental, Etching, Deposition and Surface Interactions

Verlag

Elsevier Science & Technology Books

Erscheinungsjahr

1990

Sprache

Englisch

ISBN-10

0815512201

ISBN-13

9780815512202

Einband

Hardcover

Auflage

1st Edition.

Zustand

Good

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Inhaltsangabe

This is a comprehensive overview of the technology of plasma-based processing, written by an outstanding group of 29 contributors.

Cr�ticas

"The text provides and excellent reference for plasma processing." - SAMPE Journal

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