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Bibliografische Details

Titel

VLSI Electronics: Microstructure Science Volume 8: Plasma Processing for VLSI

Verlag

Academic Press, New York

Sprache

Englisch

ISBN-10

0122341082

ISBN-13

9780122341083

Einband

Hardcover

Auflage

First Edition.

Zustand

As New

Zustand des Schutzumschlags

No Jacket

Abmessungen

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Engineering & Transportation

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