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Inhaltsangabe
In this revised and expanded edition, the authors provide a comprehensive overview of the tools, technologies, and physical models needed to understand, build, and analyze microdevices. Students, specialists within the field, and researchers in related fields will appreciate their unified presentation and extensive references.
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In this revised and expanded edition, the authors provide a comprehensive overview of the tools, technologies, and physical models needed to understand, build, and analyze microdevices. Students, specialists within the field, and researchers in related fields will appreciate their unified presentation and extensive references.
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The Physics of Micro/Nano-Fabrication
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The Physics of Micro/Nano-Fabrication [Microdevices: Physics and Applied Technologies]
Verlag:
Plenum Press, New York, 1992
ISBN 10: 0306441462
ISBN 13: 9780306441462
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PHYSICS OF MICRO/NANO-FABRICATION (MICRODEVICES PHYSICS AND FABRICATION TECHNOLOGIES)
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The Physics of Micro/Nano-Fabrication (Microdevices)
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The Physics of Micro/Nano-Fabrication
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The Physics of Micro/Nano-Fabrication (Microdevices)
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The Physics of Micro/Nano-Fabrication
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The Physics of Micro/Nano-Fabrication (Microdevices)
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