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In this revised and expanded edition, the authors provide a comprehensive overview of the tools, technologies, and physical models needed to understand, build, and analyze microdevices. Students, specialists within the field, and researchers in related fields will appreciate their unified presentation and extensive references.
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Taschenbuch. Zustand: Neu. The Physics of Micro/Nano-Fabrication | Julius J. Muray (u. a.) | Taschenbuch | xx | Englisch | 2010 | Springer | EAN 9781441932211 | Verantwortliche Person für die EU: Springer Verlag GmbH, Tiergartenstr. 17, 69121 Heidelberg, juergen[dot]hartmann[at]springer[dot]com | Anbieter: preigu. Bestandsnummer des Verkäufers 107252877
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The Physics of Micro/Nano-Fabrication
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