Handbook of Critical Dimension Metrology and Process Control: Proceedings of a Conference Held 28-29 September 1993 Monterey, California (Critical Reviews of Optical Science & Technology) - Hardcover

Society Of Photo-Optical Instrumentation Engineers

 
9780819413635: Handbook of Critical Dimension Metrology and Process Control: Proceedings of a Conference Held 28-29 September 1993 Monterey, California (Critical Reviews of Optical Science & Technology)
Hardcover
ISBN 10: 0819413631 ISBN 13: 9780819413635
Verlag: SPIE Press, 1994

Inhaltsangabe

Proceedings of SPIE present the original research papers presented at SPIE conferences and other high-quality conferences in the broad-ranging fields of optics and photonics. These books provide prompt access to the latest innovations in research and technology in their respective fields. Proceedings of SPIE are among the most cited references in patent literature.

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Verlag
SPIE Press
Erscheinungsdatum
1994
Sprache
Englisch
ISBN 10 
0819413631
ISBN 13 
9780819413635
Einband
Gebundene Ausgabe
Herausgeber
Monahan Kevin M.
Kontakt zum Hersteller
Nicht verfügbar
Verantwortliche Person
Nicht verfügbar