Simulation of Deposition Processes with PECVD Apparatus (Materials Science and Technologies) - Hardcover

Geiser, Juergen; Arab, Meraa

Hardcover

ISBN 10: 1621003655 ISBN 13: 9781621003656

Verlag: Nova Science Publishers Inc, 2012

Inhaltsangabe

This book discusses the study of simulating the growth of a thin film by chemical vapour deposition (CVD) processes. In recent years, due to the research in producing high-temperature films by depositing low pressures, the processes have increased and understanding the control mechanism of such processes has become very important. An underlying hierarchy of models for low-temperature and low-pressure plasma is presented in order to discuss the processes that can be used to implant or deposit thin layers of important materials. Due to the multi-scale problem of the flow and reaction processes, the authors propose multi-scale problems which are divided into near-field and far-field models.

Über diesen Titel

Über die Autorin bzw. den Autor

Charlotte y Peter Fiell son dos autoridades en historia, teoría y crítica del diseño y han escrito más de sesenta libros sobre la materia, muchos de los cuales se han convertido en éxitos de ventas. También han impartido conferencias y cursos como profesores invitados, han comisariado exposiciones y asesorado a fabricantes, museos, salas de subastas y grandes coleccionistas privados de todo el mundo. Los Fiell han escrito numerosos libros para TASCHEN, entre los que se incluyen 1000 Chairs, Diseño del siglo XX, El diseño industrial de la A a la Z, Scandinavian Design y Diseño del siglo XXI.

Details zur Ausgabe

• Verlag: Nova Science Publishers Inc
• Erscheinungsdatum: 2012
• Sprache: Englisch
• ISBN 10: 1621003655
• ISBN 13: 9781621003656
• Einband: Tapa dura
• Anzahl der Seiten: 144
• Kontakt zum Hersteller: Nicht verfügbar
• Verantwortliche Person: Nicht verfügbar