Defect Recognition and Image Processing in Semiconductors 1997 : Proceedings of the seventh conference on Defect Recognition and Image Processing, Berlin, September 1997

Sprache: Englisch

Verlag: CRC Press, 1998

0750305002 / 9780750305006

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nach der Bestellung gedruckt Neuware - Printed after ordering - Defect Recognition and Image Processing in Semiconductors 1997 provides a valuable overview of current techniques used to assess, monitor, and characterize defects from the atomic scale to inhomogeneities in complete silicon wafers. This volume addresses advances in defect analyzing techniques and instrumentation and their application to substrates, epilayers, and devices. The book discusses the merits and limits of characterization techniques; standardization; correlations between defects and device performance, including degradation and failure analysis; and the adaptation and application of standard characterization techniques to new materials. It also examines the impressive advances made possible by the increase in the number of nanoscale scanning techniques now available. The book investigates defects in layers and devices, and examines the problems that have arisen in characterizing gallium nitride and silicon carbide.…

Bestandsnummer des Verkäufers 9780750305006

Titel
Defect Recognition and Image Processing in Semiconductors 1997 : Proceedings of the seventh conference on Defect Recognition and Image Processing, Berlin, September 1997
Autor
J. Doneker
Verlag
CRC Press
Erscheinungsjahr
1998
Zustand
Neu
Einband
Buch
Sprache
Englisch
ISBN-10
0750305002
ISBN-13
9780750305006
Artikelgewicht
980 Gramm
Abmessungen
240x161x34 mm

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