Electron Beam Lithography Process Optimization : An Experimental Design Study

Sprache: Englisch

Verlag: GRIN Verlag, GRIN Verlag, 2011

3656083169 / 9783656083160

Anbieter: AHA-BUCH GmbH, Einbeck, DeutschlandAHA-BUCH GmbH

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Druck auf Anfrage Neuware - Printed after ordering - Technical Report from the year 2011 in the subject Design (Industry, Graphics, Fashion), University of Southern California, language: English, abstract: Currently, nanowires have aroused intensive attention due to their interesting electric and optical properties as well as potentially wide application (For example, nanowires can be used as a promising structure for transistor channels). For compound semiconductor nanowires, Nanoscale Selective Area MOCVD (Metalorganic Chemical Vapor Deposition), or NS-SAG, is a very attractive growth technique for the fabrication of sophisticated nanowire structure, because by using this technique, diameter and location of wires are controllable, with no incorporation of unwanted metals. It is achieved by deposition of a nano-openingarray -patterned dielectric mask above the substrate. Since crystals cannot be formed on dielectric mask, nanowire growth only occurs at openings, with desired diameters and locations, as shown in Fig 1. Pattern of nano opening arrays is of vital importance since it governs the size, location and density of nanowires as wells as growth rate and behavior.…

Bestandsnummer des Verkäufers 9783656083160

Titel
Electron Beam Lithography Process Optimization : An Experimental Design Study
Autor
Rohan Handa
Verlag
GRIN Verlag, GRIN Verlag
Erscheinungsjahr
2011
Zustand
Neu
Einband
Taschenbuch
Sprache
Englisch
ISBN-10
3656083169
ISBN-13
9783656083160
Artikelgewicht
45 Gramm
Abmessungen
210x148x2 mm

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