Ellipsometry for Industrial Applications

Sprache: Englisch

Verlag: Springer, Springer Dez 1987, 1987

321182040X / 9783211820407

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This item is printed on demand - it takes 3-4 days longer - Neuware -During the past years, elliposometry, a non-destructive and contact-less optical surface analysis technique, has gained increased importance in industrial areas, such as the technology of electronic devices, when simple instruments, many of them computer-controlled and automated, became available. The potential users of such instruments are, however, frequently aware neither of the inherent possibilities of this technique, nor of its accuracy limitations. This book endeavors to point out some of the less obvious features and possibilities of ellipsometry, particularly of dynamic 'in situ' measurements, and reviews its applications in research and manufacturing of semiconductor and thin film devices. A comprehensive discussion of various error effects typical particularly for simple ellipsometers and of their impact on measured sample parameters is provided. Error correction or (numerical) calibration procedures are given wherever possible, and design and operation guidelines for high-speed instruments suitable for dynamic 'in situ' measurements are suggested. 116 pp. Englisch.…

Bestandsnummer des Verkäufers 9783211820407

Titel
Ellipsometry for Industrial Applications
Autor
Karl Riedling
Verlag
Springer, Springer Dez 1987
Erscheinungsjahr
1987
Zustand
Neu
Einband
Taschenbuch
Sprache
Englisch
ISBN-10
321182040X
ISBN-13
9783211820407
Artikelgewicht
216 Gramm
Abmessungen
244x170x7 mm

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