Glow Discharge Processes

Sprache: Englisch

Verlag: John Wiley and Sons Inc, US, 1980

047107828X / 9780471078289

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Artikelbeschreibung vom Verkäufer

Develops detailed understanding of the deposition and etching of materials by sputtering discharge, and of etching of materials by chemically active discharge. Treats glow discharge at several levels from basic phenomena to industrial applications--practical techniques diligently related to fundamentals. Subjects range from voltage, distributions encountered in plasma etching systems to plasma-electron interactions that contribute to sustaining the discharge.

Bestandsnummer des Verkäufers LU-9780471078289

Titel
Glow Discharge Processes
Autor
Brian Chapman
Verlag
John Wiley and Sons Inc, US
Veröffentlichungsjahr
1980
Zustand
New
Einband
Hardback
Sprache
Englisch
ISBN-10
047107828X
ISBN-13
9780471078289
Artikelgewicht
848 Gramm

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