Glow Discharge Processes Sputtering and Plasma Etching

Sprache: Englisch

Verlag: Wiley-Interscience, 1980

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Titel
Glow Discharge Processes Sputtering and Plasma Etching
Autor
Brian Chapman
Verlag
Wiley-Interscience
Veröffentlichungsjahr
1980
Zustand
Brand New
Einband
Hardcover
Sprache
Englisch
ISBN-10
047107828X
ISBN-13
9780471078289
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