Introduction to Microlithography. 2nd Edition.

Sprache: Englisch

Verlag: Washington, D.C., U.S.A.: Amer Chemical Society, 1994

0841228485 / 9780841228481

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Titel
Introduction to Microlithography. 2nd Edition.
Autor
Thompson, Larry F.; Willson, C. Grant
Verlag
Washington, D.C., U.S.A.: Amer Chemical Society
Erscheinungsjahr
1994
Zustand
Fine
Einband
Hardcover
Sprache
Englisch
ISBN-10
0841228485
ISBN-13
9780841228481
Auflage
2nd Edition

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