Lithography

Sprache: Englisch

Verlag: IntechOpen, 2010

9533070641 / 9789533070643

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Lithography, the fundamental fabrication process of semiconductor devices, plays a critical role in micro- and nano-fabrications and the revolution in high density integrated circuits.This book is the result of inspirations and contributions from many researchers worldwide. Although the inclusion of the book chapters may not be a complete representation of all lithographic arts, it does represent a good collection of contributions in this field. We hope readers will enjoy reading the book as much as we have enjoyed bringing it together. We would like to thank all contributors and authors of this book. Sprache: Englisch Gewicht in Gramm: 1597.

Titel
Lithography
Verlag
IntechOpen
Erscheinungsjahr
2010
Zustand
Neu
Einband
Gebundene Ausgabe
Sprache
Englisch
ISBN-10
9533070641
ISBN-13
9789533070643
Artikelgewicht
1.597 Gramm

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