Run-to-Run Control in Semiconductor Manufacturing

Sprache: Englisch

Verlag: Taylor and Francis Inc, US, 2000

0849311780 / 9780849311789

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Run-to-run (R2R) control is cutting-edge technology that allows modification of a product recipe between machine "runs," thereby minimizing process drift, shift, and variability-and with them, costs. Its effectiveness has been demonstrated in a variety of processes, such as vapor phase epitaxy, lithography, and chemical mechanical planarization. The only barrier to the semiconductor industry's widespread adoption of this highly effective process control is a lack of understanding of the technology. Run to Run Control in Semiconductor Manufacturing overcomes that barrier by offering in-depth analyses of R2R control.

Bestandsnummer des Verkäufers LU-9780849311789

Titel
Run-to-Run Control in Semiconductor Manufacturing
Autor
Enrique del Castillo
Verlag
Taylor and Francis Inc, US
Erscheinungsjahr
2000
Zustand
New
Einband
Hardback
Sprache
Englisch
ISBN-10
0849311780
ISBN-13
9780849311789
Artikelgewicht
625 Gramm

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