Ultra Clean Processing Of Semiconductor Surfaces (Solid State Phenomena)
Paul Mertens
ISBN 10: 3908451469 ISBN 13: 9783908451464
Verlag: Trans Tech Publications, Ltd., 2008
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Paperback
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Beschreibung
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Inhaltsangabe:
Volume is indexed by Thomson Reuters CPCI-S (WoS).
This collection of 86 peer-reviewed papers covers all aspects of the use of ultra-clean technology for large-scale integration on semiconductors, and cleaning and contamination-control in both front-end-of-line (FEOL) and back-end-of-line (BEOL) processing.
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Bibliografische Details
Titel: Ultra Clean Processing Of Semiconductor ...
Verlag: Trans Tech Publications, Ltd.
Erscheinungsdatum: 2008
Einband: Paperback
Zustand: Very Good
Zustand des Schutzumschlags: Schutzumschlag
Art des Buches: book